изоляция вытравленными канавками, заполненными диэлектриком

izoliavimas ėsdintiniais grioveliais su dielektriko užpildu statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. etch-out and backfill isolation vok. Isolation durch mit einem Dielektrikum gefüllte Trennfugen, f rus. изоляция вытравленными канавками, заполненными диэлектриком, f pranc. isolation par rainures décapées remplies par diélectrique, f